一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020792130.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212451632U | 公開（公告）日 | 2021-02-02 |
| 申請公布號 | CN212451632U | 申請公布日 | 2021-02-02 |
| 分類號 | C23C16/46(2006.01)I; | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 程言軍;蔣燕紅;蔣來紅 | 申請（專利權(quán)）人 | 安徽帝顯電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李照 |
| 地址 | 243000安徽省馬鞍山市鄭蒲港新區(qū)姥橋鎮(zhèn)聯(lián)合路廣納標準化廠房13#廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，包括沉積源、沉積源噴嘴、連接構(gòu)件、圖案化縫隙片、基底、U型管、滑軌、驅(qū)動機構(gòu)和電動伸縮桿，所述沉積源和圖案化縫隙片之間通過框形的連接構(gòu)件相連接，所述沉積源與沉積源噴嘴相連接，所述沉積源噴嘴位于圖案化縫隙片的下方，所述連接構(gòu)件的兩側(cè)固定連接有滑軌，所述基底的上表面鋪設(shè)有多根平行排列的U型管。通過流體控溫系統(tǒng)向U型管中通入一定溫度的流體，實現(xiàn)對基底的控溫；能夠擴大TFT玻璃薄膜的最終成型面積，適用大尺寸TFT玻璃薄膜的生產(chǎn)；且在移動過程中配合流體控溫系統(tǒng)使用，對移出圖案化縫隙片所在區(qū)域且初步成型的TFT玻璃薄膜，極速降溫，便于薄膜脫離基底和成型。?? |
