一種用于表面處理機(jī)硅烷系統(tǒng)的自動(dòng)切換添加裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023144448.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213925017U 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213925017U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) C23C22/77;C25D1/04 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉吉揚(yáng);林富城;孟基中;李天煜;陳亮;劉斯丹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東超華科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅振國
地址 514000 廣東省梅州市梅縣區(qū)憲梓南路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于表面處理機(jī)硅烷系統(tǒng)的自動(dòng)切換添加裝置；屬于5G設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域；其技術(shù)要點(diǎn)包括用于表面處理的硅烷槽，硅烷槽分別導(dǎo)通連接有第一、第二進(jìn)液管和第一、第二出液管；在硅烷槽側(cè)邊的第一進(jìn)液管、第二進(jìn)液管、第一出液管和第二出液管上分別設(shè)置有電磁閥；各電磁閥分別與控制終端連接；在第一出液管和第一進(jìn)液管自由端之間導(dǎo)通連接有第一硅烷添加單元，在第二出液管和第二進(jìn)液管自由端之間導(dǎo)通連接有第二硅烷添加單元；所述第一硅烷添加單元和第二硅烷添加單元分別連接有清洗回流單元；本實(shí)用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)合理、使用方便且效果良好的用于表面處理機(jī)硅烷系統(tǒng)的自動(dòng)切換添加裝置；用于表面處理機(jī)硅烷系統(tǒng)。