一種用于靶材的高效真空干燥裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022780912.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214250429U 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN214250429U 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) F26B11/18（2006.01）I;F26B5/04（2006.01）I;F26B23/04（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 華東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川南光真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都頂峰專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊國(guó)瑞
地址 610000四川省成都市成華區(qū)東三環(huán)路二段龍?zhí)豆I(yè)園華泰路39號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于靶材的高效真空干燥裝置，包括外殼和抽氣機(jī)。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有螺紋桿，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)輪帶動(dòng)螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)，并且通過(guò)齒輪的相互嚙合轉(zhuǎn)動(dòng)，可以使得同一高度的兩個(gè)螺紋桿帶動(dòng)頂板運(yùn)動(dòng)，改變同一高度兩側(cè)頂板之間的間距，并且通過(guò)夾板的左右可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同大小尺寸和形狀的靶材實(shí)現(xiàn)固定操作，便于干燥裝置的使用，極大的提高了干燥裝置使用的通用性；通過(guò)設(shè)置有電機(jī)，通過(guò)電機(jī)可以帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸上的圓板轉(zhuǎn)動(dòng)，圓板帶動(dòng)其上側(cè)固定的靶材實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得加熱器能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)靶材的高效且均勻的加熱干燥操作，有效的提高了對(duì)靶材的干燥效率。本實(shí)用新型具有干燥效率高和通用性好的優(yōu)點(diǎn)。