一種一寸襯底晶片手動(dòng)磨邊真空吸盤治具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021070069.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212683575U | 公開（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212683575U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-12 |
| 分類號(hào) | B24B41/06(2012.01)I;B24B23/02(2006.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 易德福 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 | 代理人 | 杜丹盛 |
| 地址 | 344000江西省撫州市金柅大道198號(hào)創(chuàng)業(yè)園A7棟3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種一寸襯底晶片手動(dòng)磨邊真空吸盤治具，其采用錯(cuò)位臺(tái)階的方式將吸盤改小，解決設(shè)備與砂輪干涉問題，且通過合理設(shè)計(jì)導(dǎo)流氣槽及槽位置，達(dá)到吸附晶片的效果。其包括吸盤本體，所述吸盤本體包括吸盤底托、吸附上凸，所述吸盤底托的上表面中心上凸形成吸附上凸，所述吸附上凸的上表面中心區(qū)域設(shè)置有導(dǎo)流槽，所述導(dǎo)流槽的中心位置設(shè)置有中心孔，所述中心孔貫穿所述吸附上凸、吸盤底托的厚度方向，所述吸盤底托的下表面中心位置設(shè)置有內(nèi)凹圓柱槽，所述吸盤底托的外環(huán)面環(huán)布有若干個(gè)厚度方向貫穿的連接孔，其還包括有工作臺(tái)底托，緊固螺栓貫穿所述連接孔后連接所述工作臺(tái)底托的對(duì)應(yīng)定位孔，所述工作臺(tái)底托的上表面中心上凸。?? |
