一種拋光設(shè)備空氣顆粒塵埃的抽排裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021068930.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213592637U 公開（公告）日 2021-07-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN213592637U 申請(qǐng)公布日 2021-07-02
分類號(hào) B24B55/06（2006.01）I;B24B29/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 易德福 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國(guó)誠專利代理有限公司 代理人 杜丹盛
地址 344000江西省撫州市金柅大道198號(hào)創(chuàng)業(yè)園A7棟3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種拋光設(shè)備空氣顆粒塵埃的抽排裝置，其確保將空氣顆粒塵埃抽排出拋光機(jī)時(shí)、對(duì)拋光盤的劃傷率低，提高沉底晶片拋光良品率。其包括拋光設(shè)備底座，所述拋光設(shè)備底座上布置有定盤轉(zhuǎn)盤，所述定盤轉(zhuǎn)盤上放置有陶瓷盤晶片載體，所述拋光設(shè)備底座通過上凸的弧板連接上部安裝架，所述上部安裝架上設(shè)置有若干個(gè)下露的拋光轉(zhuǎn)盤，所述拋光轉(zhuǎn)盤用于陶瓷盤晶片載體上的晶片的拋光，所述弧板上開設(shè)有至少一個(gè)抽排風(fēng)口，每個(gè)所述抽排風(fēng)口通過抽風(fēng)管外接抽風(fēng)動(dòng)力裝置，封閉原有的垂直抽排口。