砷化鎵拋光液自動循環(huán)過濾方法及其對應(yīng)的過濾裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010529604.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111544946A | 公開（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申請公布號 | CN111544946A | 申請公布日 | 2020-08-18 |
| 分類號 | B01D35/00(2006.01)I;B01D35/14(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 易德福 | 申請（專利權(quán)）人 | 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 蘇州國誠專利代理有限公司 | 代理人 | 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 344000江西省撫州市金柅大道198號創(chuàng)業(yè)園A7棟3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了砷化鎵拋光液自動循環(huán)過濾方法，其使得拋光藥液通過自循環(huán)過濾，從而解決拋光過程中拋光液中的顆粒劃傷晶片問題。拋光藥液在拋光設(shè)備使用前，在供藥管道進入設(shè)備后安裝拋光藥液自循環(huán)裝置，將管道中結(jié)晶顆粒機靜態(tài)濾芯反向端的結(jié)晶進行再次過濾，將靜態(tài)的藥液改變?yōu)閯討B(tài)實時過濾，避免析出顆粒結(jié)晶使得藥液中顆粒增加。?? |
