砷化鎵拋光液自動(dòng)循環(huán)過濾裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021070018.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213555755U | 公開（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申請公布號(hào) | CN213555755U | 申請公布日 | 2021-06-29 |
| 分類號(hào) | B01D35/00（2006.01）I;B01D35/14（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 易德福 | 申請（專利權(quán)）人 | 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州國誠專利代理有限公司 | 代理人 | 杜丹盛 |
| 地址 | 344000江西省撫州市金柅大道198號(hào)創(chuàng)業(yè)園A7棟3樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了砷化鎵拋光液自動(dòng)循環(huán)過濾裝置，其使得拋光藥液通過自循環(huán)過濾，解決拋光過程中拋光液中的顆粒劃傷晶片問題。液桶的上端蓋裝有頂蓋，頂蓋上預(yù)設(shè)有管路插孔、溢流桶安裝接口，溢流桶安裝接口下凸部分固裝有循環(huán)藥液溢流桶，循環(huán)藥液溢流桶上設(shè)置有旁通溢流孔連通藥液桶的內(nèi)腔，藥液桶的內(nèi)腔內(nèi)盛放有砷化鎵拋光液，進(jìn)液管上安裝藥管過濾罐芯后通過管路貫穿對應(yīng)的管路插孔后連通至藥液桶的內(nèi)腔，其還包括有循環(huán)管，循環(huán)管的一端內(nèi)插于藥液桶的內(nèi)腔的底部區(qū)域，循環(huán)管的一部分外露于藥液桶后、其另一端置于循環(huán)藥液溢流桶的內(nèi)腔，出液管的進(jìn)液部分位于循環(huán)藥液溢流桶的內(nèi)腔，出液管的出液部分安裝蠕動(dòng)泵后連接至拋光機(jī)的進(jìn)藥管。 |
