光刻膠組合物、用它形成光刻圖案的方法及其用途

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010811408.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111948904A 公開（公告）日 2020-11-17
申請公布號 CN111948904A 申請公布日 2020-11-17
分類號 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐宏;何向明;王倩倩 申請（專利權(quán)）人 北京華睿新能動力科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 北京華進京聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勤思
地址 213100 江蘇省常州市常州西太湖科技產(chǎn)業(yè)園祥云路6號3號樓1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種光刻膠組合物，包括：金屬氧化物納米簇，所述金屬氧化物納米簇包括金屬氧化物內(nèi)核和與所述金屬氧化物內(nèi)核配位的有機配體，其分子通式為MxOy（OH）mLn，M為金屬元素，L為所述有機配體，且為含有雙鍵的有機基團，4≤x≤8，2≤y≤8，0≤m≤4，12≤n≤16；光產(chǎn)酸劑；自由基淬滅劑；以及溶劑。本發(fā)明進一步涉及用所述光刻膠組合物形成光刻圖案的方法和光刻膠組合物的用途。