光刻膠及亞胺類材料的圖案化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010815574.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111880371A 公開（公告）日 2020-11-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN111880371A 申請(qǐng)公布日 2020-11-03
分類號(hào) G03F7/004;G03F7/00 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐宏;何向明;王倩倩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京華睿新能動(dòng)力科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勤思
地址 214142 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200-11號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園E2-503
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻膠，包括：氨基化合物、醛基化合物、產(chǎn)酸劑和溶劑，所述產(chǎn)酸劑能夠在紫外光下分解形成光酸催化劑，所述光酸催化劑能夠催化所述氨基化合物和所述醛基化合物發(fā)生縮合反應(yīng)形成亞胺類聚合物；所述氨基化合物在所述光刻膠中的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為0.4％～30％，所述醛基化合物在所述光刻膠中的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為0.5％～30％，所述產(chǎn)酸劑在所述光刻膠中的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為0.01％～8％。本發(fā)明還公開了一種亞胺類光刻膠材料的圖案化方法。