光刻膠、光刻膠的圖案化方法及生成印刷電路板的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011428100.6 申請日 -
公開(公告)號 CN112462572A 公開(公告)日 2021-03-09
申請公布號 CN112462572A 申請公布日 2021-03-09
分類號 G03F7/004(2006.01)I;G03F1/76(2012.01)I 分類 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐宏;何向明;王曉琳 申請(專利權(quán))人 北京華睿新能動力科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 北京華進京聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勤思
地址 100084北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻膠,包括有機溶劑和鈦鋯氧化物納米粒子,所述鈦鋯氧化物納米粒子,所述鈦鋯氧化物納米粒子的分子通式為TixZryOzLn,其中,x、y、z分別獨立地選自1~6中的任意整數(shù),n選自5~30中的任意整數(shù),L為有機物配體,所述有機物配體具有可自由基引發(fā)聚合的基團。本發(fā)明還公開了一種光刻膠的圖案化方法。本發(fā)明還公開了一種印刷電路板的方法。??