光刻膠、光刻膠的圖案化方法及生成印刷電路板的方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011428100.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN112462572A | 公開(公告)日 | 2021-03-09 |
申請公布號(hào) | CN112462572A | 申請公布日 | 2021-03-09 |
分類號(hào) | G03F7/004(2006.01)I;G03F1/76(2012.01)I | 分類 | 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕; |
發(fā)明人 | 徐宏;何向明;王曉琳 | 申請(專利權(quán))人 | 北京華睿新能動(dòng)力科技發(fā)展有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王勤思 |
地址 | 100084北京市海淀區(qū)清華園 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種光刻膠,包括有機(jī)溶劑和鈦鋯氧化物納米粒子,所述鈦鋯氧化物納米粒子,所述鈦鋯氧化物納米粒子的分子通式為TixZryOzLn,其中,x、y、z分別獨(dú)立地選自1~6中的任意整數(shù),n選自5~30中的任意整數(shù),L為有機(jī)物配體,所述有機(jī)物配體具有可自由基引發(fā)聚合的基團(tuán)。本發(fā)明還公開了一種光刻膠的圖案化方法。本發(fā)明還公開了一種印刷電路板的方法。?? |
