一種碳化硅粉料的加料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121238720.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215800047U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215800047U 申請公布日 2022-02-11
分類號 C30B29/36（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李帥;李函朔;趙建國 申請（專利權）人 山東天岳先進科技股份有限公司
代理機構 北京君慧知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 馮妙娜
地址 250118山東省濟南市槐蔭區(qū)天岳南路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種粉料加料裝置，具體涉及一種碳化硅粉料的加料裝置，屬于半導體材料制備技術領域。該粉料加料裝置，包括：給料機構，所述給料機構設置于裝料件上方，用于向所述裝料件內輸送所述粉料；壓料機構，所述壓料機構包括壓料盤，所述壓料盤進入所述裝料件內并向下運動，用于壓實所述裝料件內的粉料。通過給料機構，自動化向裝料件內輸送粉料，并通過壓料盤向下運動，用于壓實裝料件內的粉料，能夠提高裝料件內粉料的平整度，避免裝料件在裝配過程中造成粉料的傾斜，提高生產效率和產品的質量。