一種自動(dòng)密封的反應(yīng)爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122371952.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215800054U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215800054U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-11 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 張健;龐茂鑫;程望;陳一棟;李桂凱 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮妙娜 |
| 地址 | 250118山東省濟(jì)南市槐蔭區(qū)天岳南路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種自動(dòng)密封的反應(yīng)爐，屬于半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域。該反應(yīng)爐包括爐體和爐體下蓋，所述爐體下蓋密封蓋合所述爐體底部的進(jìn)料口；升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)用于支撐爐體下蓋，所述升降機(jī)構(gòu)上升或下降以帶動(dòng)所述爐體下蓋上升或下降；密封機(jī)構(gòu)，所述密封機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在爐體下方的鎖緊壓輪，所述升降機(jī)構(gòu)上升以帶動(dòng)所述爐體下蓋上升至與爐體密封位置，所述鎖緊壓輪與所述爐體下蓋下端面接觸，以推動(dòng)所述爐體下蓋和所述爐體密封。該反應(yīng)爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可自動(dòng)化進(jìn)行裝卸，提高工作效率，可用于大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn)半導(dǎo)體材料。 |
