一種用于碳化硅晶體的退火載具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121081115.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215628420U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN215628420U 申請(qǐng)公布日 2022-01-25
分類號(hào) C30B33/02（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 張九陽(yáng);王瑞;薛港生;王含冠;李碩;李霞;寧秀秀;高超;梁慶瑞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張偉樸
地址 250118山東省濟(jì)南市槐蔭區(qū)天岳南路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種用于碳化硅晶體的退火載具，屬于半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域。該用于碳化硅晶體的退火載具，包括：第一罩蓋，所述第一罩蓋包括第一蓋板；第二罩蓋，所述第二罩蓋包括第二蓋板，所述第二蓋板設(shè)置在所述第一蓋板的下方，所述第一蓋板和第二蓋板的邊緣通過(guò)支撐柱連接，所述第一蓋板和第二蓋板之間用于放置待退火處理的碳化硅晶體。使用該退火載具對(duì)待退火處理的碳化硅晶體進(jìn)行退火處理，能夠減少碳化硅晶體兩側(cè)與中間區(qū)域的應(yīng)力差，改善碳化硅晶體的面型質(zhì)量，避免晶體出現(xiàn)開(kāi)裂。