一種碳化硅晶體電阻法退火用溫控系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201811419766.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN109554761B | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請公布號 | CN109554761B | 申請公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號 | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 張巖;付吉國;董偉;趙然;周衛(wèi)東;曾蕾 | 申請（專利權(quán)）人 | 國宏中宇科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100089北京市海淀區(qū)長春橋路11號3號樓1204 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種碳化硅晶體電阻法退火用溫控系統(tǒng)，包括生長爐爐體，生長爐爐體內(nèi)部橫向穿過有傳熱桿，出水口設(shè)置在生長爐爐體外側(cè)，傳熱桿右端設(shè)置有進(jìn)水口，進(jìn)水口左側(cè)安裝有流量控制器，傳熱桿中部穿過底座并與底座內(nèi)孔緊密接觸，底座上方與坩堝托相連接，坩堝底部設(shè)置有籽晶槽，坩堝外圍安置有測溫?zé)犭娕?，生長爐爐體與坩堝之間安裝有保溫罩，且生長爐爐體下方左側(cè)安裝有真空系統(tǒng)，生長爐爐體左側(cè)上方和右側(cè)下方分別安裝有進(jìn)氣管和出氣管。還包括控制PC，所述控制PC包括控制平臺軟件、控制模塊和信號傳輸模塊。?? |
