曝光機(jī)預(yù)對位單元真空管路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023204277.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214586375U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號(hào) CN214586375U 申請公布日 2021-11-02
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I;G02F1/13（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖林峰;徐飛;張國曦;李海麗 申請（專利權(quán)）人 南京中電熊貓液晶材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京君陶專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 嚴(yán)海晨
地址 210033江蘇省南京市棲霞區(qū)天佑路33號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種曝光機(jī)預(yù)對位單元真空管路，結(jié)構(gòu)包括真空管路、曝光機(jī)、機(jī)器手臂、壓力調(diào)節(jié)閥；曝光機(jī)設(shè)有兩個(gè)預(yù)對位平臺(tái)，每個(gè)預(yù)對位平臺(tái)上分別配有機(jī)器手臂；真空管路分成兩條支路，每條支路分別連接一個(gè)預(yù)對位平臺(tái)以及與其匹配的機(jī)器手臂，真空管路與支路之間設(shè)有壓力調(diào)節(jié)閥，支路與預(yù)對位平臺(tái)連接處設(shè)有支路壓力調(diào)節(jié)閥。預(yù)對位平臺(tái)內(nèi)部設(shè)有pin真空管路、平臺(tái)真空管路，二者交錯(cuò)疊放，氣孔均勻排布在預(yù)對位平臺(tái)表面。有益效果：真空分壓后各單元壓力均衡，不易發(fā)生故障，不會(huì)因真空壓力導(dǎo)致破片；設(shè)備稼動(dòng)率提升，制造成本縮減。