一種適用于光刻機(jī)的焦距調(diào)整方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010289792.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111458991A | 公開（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111458991A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-28 |
| 分類號(hào) | G03F9/00(2006.01)I;H04N5/232(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王澤明;朱勤;鄧超略;黃文斌;高尊虎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 東莞市神州眾達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湖南印之明智能制造有限公司 |
| 地址 | 411100湖南省湘潭市高新區(qū)光華路搖錢樹社區(qū)19號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤指一種適用于光刻機(jī)的焦距調(diào)整方法，采用一種高像素的手機(jī)攝像頭來采集激光束照射到版材上成像圖片，利用上位機(jī)中的ISP算法，對(duì)圖像進(jìn)行分析并根據(jù)圖像中相鄰像素之間的密度差距向線性模組發(fā)出驅(qū)動(dòng)命令，使手機(jī)攝像頭的位置一直調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦的效果，調(diào)整偏差值。?? |
