一種光刻機(jī)的自動(dòng)對(duì)焦的工作裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021495629.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213122598U 公開（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213122598U 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明;鄧超略;朱勤;黃文斌;趙家峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南印之明智能制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 聶穎
地址 411110 湖南省湘潭市高新區(qū)光華路搖錢社區(qū)19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光刻機(jī)的自動(dòng)對(duì)焦的工作裝置，包括基座和活動(dòng)板，所述活動(dòng)板的下方安裝有對(duì)焦裝置，所述基座的頂部一側(cè)安裝有電磁滑軌，所述電磁滑軌上活動(dòng)設(shè)置有用于實(shí)現(xiàn)對(duì)焦裝置的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)的高度調(diào)節(jié)裝置，所述對(duì)焦裝置上設(shè)置有用于對(duì)其左右對(duì)焦調(diào)節(jié)的滑動(dòng)組件，所述基座的頂部設(shè)置有用于對(duì)不同尺寸大小的基片進(jìn)行固定的固定裝置，此光刻機(jī)的自動(dòng)對(duì)焦的工作裝置，改變了傳統(tǒng)的對(duì)焦裝置高度不易調(diào)節(jié)的方式，利用設(shè)置的高度調(diào)節(jié)裝置，使得該對(duì)焦裝置在對(duì)焦時(shí)可調(diào)節(jié)高度，進(jìn)而提高對(duì)焦效率，并由電磁滑軌和滑動(dòng)組件的配合，能實(shí)現(xiàn)對(duì)焦裝置的前后左右位置進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)，更進(jìn)一步的完成精準(zhǔn)的對(duì)焦工作。