一種光刻機四個掃描頭的工作機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021494551.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213457644U 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN213457644U 申請公布日 2021-06-15
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明;鄧超略;朱勤;黃文斌;趙家峰 申請（專利權(quán)）人 湖南印之明智能制造有限公司
代理機構(gòu) 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 聶穎
地址 411110湖南省湘潭市高新區(qū)光華路搖錢社區(qū)19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光刻機四個掃描頭的工作機構(gòu)，包括基座和放置板，且曝光區(qū)域邊槽上設(shè)有安裝板，安裝板底部連接有多個轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿底部連接有掃描頭本體，多個所述掃描頭本體外側(cè)設(shè)有帶動多個掃描頭本體以不同的轉(zhuǎn)速進(jìn)行掃描處理的調(diào)速組件，且調(diào)速組件與放置板連接，所述放置板頂部連接有帶動調(diào)速組件運動的傳動組件，且傳動組件與調(diào)速組件連接，此通過所設(shè)的傳動組件帶動所設(shè)的調(diào)速組件，進(jìn)而實現(xiàn)對多個掃描頭本體以不同的轉(zhuǎn)速進(jìn)行轉(zhuǎn)動，便于實現(xiàn)不同掃描頭本體在光刻機本體的帶動作用下實現(xiàn)對以不同的轉(zhuǎn)速對掃描區(qū)域進(jìn)行掃描曝光處理，提高了多個掃描頭本體在掃描區(qū)域以不同的轉(zhuǎn)速掃描的效率。