一種應用于光刻機自動上板的控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911412264.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111025861A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN111025861A 申請公布日 2020-04-17
分類號 G03F7/20 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 王澤明;朱勤;鄧超略;黃文斌;高尊虎 申請（專利權）人 湖南印之明智能制造有限公司
代理機構 東莞市神州眾達專利商標事務所（普通合伙） 代理人 湖南印之明智能制造有限公司
地址 411100 湖南省湘潭市高新區(qū)曉塘路9號創(chuàng)新大廈913B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及曝光設備領域，尤指一種應用于光刻機自動上板的控制方法，控制方法中具備對執(zhí)行部輸出的時間點進行記錄與對比，而光刻機由主機控制，那么，主機在應用本發(fā)明的控制方法實現(xiàn)分時復用的方式，去同時操控多臺光刻機，從而節(jié)約了成本并提高生產效率。