一種磁光記錄介質鍍膜用稀土過渡合金旋轉靶材的制備方法及其制備靶材

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610144237.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105803406A 公開（公告）日 2016-07-27
申請公布號 CN105803406A 申請公布日 2016-07-27
分類號 C23C14/34(2006.01)I;G11B5/84(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐從康 申請（專利權）人 沈陽威泰科技發(fā)展有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 柏尚春
地址 110000 遼寧省沈陽市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)開發(fā)二十五號路91號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種稀土?過渡合金旋轉靶材的制備方法及其制備靶材，所述方法包括：稀土過渡金屬合金的制備，真空澆注稀土過渡金屬合金中空靶管，熱等靜壓澆注好稀土過渡金屬合金靶管，機械加工，銦綁定。通過本方法制備的稀土過渡合金旋轉靶材，成分均勻，相對密度可達到99.9％，純度可達到99.99％，長度不受限制，克服了旋轉靶材成分偏析，脆性大等缺點，降低了靶材的孔隙率，使其在使用過程中穩(wěn)定放電，從而提高磁光記錄介質薄膜的品質。另外，該方法工藝簡單，操作方便，在熱等靜壓時，不需要常規(guī)的包套及氬弧焊，減少后續(xù)工序，可對靶管直接進行熱等靜壓，降低生產(chǎn)成本。