光纖面板共焦顯微鏡測量三維面形的方法和裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN00113793.X 申請日 -
公開（公告）號 CN1209653C 公開（公告）日 2005-07-06
申請公布號 CN1209653C 申請公布日 2005-07-06
分類號 G02B21/36;G01B11/24 分類 光學(xué);
發(fā)明人 譚玉山;王昭;孔兵;彌寧 申請（專利權(quán)）人 西安凱特信息技術(shù)公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 西安交通大學(xué)
地址 710049陜西省西安市咸寧路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光纖面板共焦顯微鏡測量三維面形的方法和裝置。讓擴(kuò)束準(zhǔn)直光源照在其右側(cè)棱鏡上，通過棱鏡斜面將光源照射到棱鏡下方的光束分割器上，再經(jīng)分割器下方的共焦顯微系統(tǒng)聚焦于沿透鏡系統(tǒng)光軸方向掃描的被測物體上，其反射光又經(jīng)原路返回到光束分割器上，通過棱鏡系統(tǒng)由其上的光采集系統(tǒng)輸入計(jì)算機(jī)圖象信息處理系統(tǒng)，由此即可自動(dòng)求得被測物體表面的三維形貌數(shù)據(jù)，具有測量信噪比高、靈敏度高并且可調(diào)、結(jié)構(gòu)較簡單、裝配調(diào)試方便、制造成本較低等優(yōu)點(diǎn)。