一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件表面痕量污染的測試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110498098.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113311057A 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113311057A 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) G01N27/626（2021.01）I;G01N1/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 管方方;賀賢漢;金奇梅;幸仁華;張正偉;蔣立峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號(hào)10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件表面痕量元素污染的非破壞性檢測方法,該方法基于無塵棉簽擦拭的間接取樣方式，將制造設(shè)備部件表面痕量元素通過棉簽擦拭出來，繼而用酸浸泡棉簽一段時(shí)間，最后取出棉簽，利用ICP?MS測試溶液中元素含量,對(duì)零部件表面痕量污染元素的定量測試有助于開發(fā)合理有效的清洗再生工藝，提高其再利用的可靠性。