一種晶圓ETCH制程設(shè)備靜電吸盤的洗凈再生方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110498080.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113299532A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113299532A 申請公布日 2021-08-24
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于海平;賀賢漢;蔣立峰;張正偉;徐慶斌 申請（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓ETCH制程設(shè)備靜電吸盤的洗凈再生方法，包括：步驟一，對靜電吸盤的陽極氧化鋁底座表面處理；步驟二，對靜電吸盤的陽極氧化鋁底座表面保護；步驟三，有機溶劑浸泡靜電吸盤；步驟四，對靜電吸盤的氧化鋁陶瓷面打磨；步驟五，雙氧水浸泡靜電吸盤；步驟六，再對靜電吸盤的氧化鋁陶瓷面打磨；步驟七，熱水浸泡靜電吸盤；步驟八，氨水雙氧水浸泡靜電吸盤；步驟九，繼續(xù)對靜電吸盤的氧化鋁陶瓷面打磨；步驟十，用硝氟酸溶液擦拭靜電吸盤的氧化鋁陶瓷面；步驟十一，再用鹽酸雙氧水溶液擦拭靜電吸盤的氧化鋁陶瓷面；步驟十二，超聲波清洗靜電吸盤；步驟十三，去除保護并用有機溶劑擦拭；步驟十四，無塵烘箱烘干靜電吸盤。