一種潔凈室用包裝袋表面微污染的測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110890729.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113484446A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113484446A 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01N30/02（2006.01）I;G01N27/626（2021.01）I;G01N1/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張繼月;賀賢漢;何盼盼;李文閣;張正偉;蔣立峰 申請（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 陸葉
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。一種潔凈室用包裝袋表面微污染的測試方法，包括以下步驟：步驟一，在潔凈室的采樣區(qū)，使用潔凈的陶瓷剪刀剪切下包裝袋薄膜；步驟二，使用封口器將薄膜封裝成三面封閉，一面開口的袋子；步驟三，向袋子中添加提取液，提取液根據(jù)袋子的表面積調(diào)整，隨后封口，靜置24小時；然后將提取液轉(zhuǎn)移至干凈的空瓶內(nèi)，測試提取液中的陰陽離子含量，測試提取液中的金屬元素含量；步驟四，向另一個潔凈的樣品瓶中，裝入超純水靜24小時；測試提取液中的陰陽離子含量，測試提取液中的金屬元素含量；步驟五：取兩次測試結(jié)果的差值，通過公式計(jì)算最終得到待測包裝袋表面微量離子含量以及包裝袋表面的金屬元素含量。