一種半導(dǎo)體設(shè)備ALD氮化鈦裝置噴頭旋轉(zhuǎn)打磨治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022868421.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214265162U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214265162U 申請公布日 2021-09-24
分類號 B24B41/06（2012.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王云鵬;賀賢漢;周毅;蔣立峰 申請（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備ALD氮化鈦裝置噴頭旋轉(zhuǎn)打磨治具，所述旋轉(zhuǎn)打磨治具呈杯狀，杯狀治具包括治具底面和治具圓周面；所述治具底面上開設(shè)有用于安裝在旋轉(zhuǎn)臺上的沉頭孔以及用于排除積水的漏水孔；且所述治具底面為第一臺階面；所述治具圓周面中間沿徑向朝向外側(cè)凹陷形成有第二臺階面，所述第二臺階面的外徑等于鋁材邊沿的外徑，第二臺階面的內(nèi)徑大于鋁材圓柱的外徑；所述第二臺階面上方的圓周面內(nèi)表面沿周向均勻設(shè)置有多個定位凸起，所述盆狀噴頭的鋁材邊沿外表面與多個定位凸起一一對應(yīng)的設(shè)置有多個定位凹槽；治具上設(shè)有圓周定位凸起與定位凹槽配合，可以保證將盆狀噴頭產(chǎn)品放入治具中不會產(chǎn)生產(chǎn)品和治具產(chǎn)生打滑的現(xiàn)象。