半導(dǎo)體設(shè)備離子植入裝置法蘭凸緣的打磨固定保護(hù)治具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022774193.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214265160U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214265160U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B41/06（2012.01）I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 楊煒;賀賢漢;周毅;蔣立峰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海富樂(lè)德智能科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申浩律師事務(wù)所 | 代理人 | 趙建敏 |
| 地址 | 200444上海市寶山區(qū)山連路181號(hào)10幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了半導(dǎo)體設(shè)備離子植入裝置法蘭凸緣的打磨固定保護(hù)治具，所述保護(hù)治具為三臺(tái)階式盆狀，三臺(tái)階式盆狀治具包括中間的治具圓柱，底部的治具底，頂部的治具水平邊沿以及位于治具水平邊沿外邊緣處的治具豎向邊沿；所述治具底形成第一階臺(tái)階面，所述治具圓柱內(nèi)表面中間部位朝向外側(cè)凹陷形成有第二階臺(tái)階面，所述治具水平邊沿形成第三階臺(tái)階面；所述治具底上開(kāi)設(shè)有用于安裝在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的沉頭孔；所述治具圓柱底端開(kāi)設(shè)有漏水孔；所述治具水平邊沿外邊緣處開(kāi)設(shè)有漏水槽；可以重復(fù)利用，可在氣動(dòng)打磨工具的輔助下更好的提高生產(chǎn)效率，具有使用方便，精度高，可重復(fù)使用及節(jié)省人力及物料成本的特點(diǎn)。 |
