半導(dǎo)體設(shè)備離子植入裝置法蘭凸緣的打磨固定保護(hù)治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022774193.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214265160U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214265160U 申請公布日 2021-09-24
分類號 B24B41/06（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 楊煒;賀賢漢;周毅;蔣立峰 申請（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 趙建敏
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了半導(dǎo)體設(shè)備離子植入裝置法蘭凸緣的打磨固定保護(hù)治具，所述保護(hù)治具為三臺階式盆狀，三臺階式盆狀治具包括中間的治具圓柱，底部的治具底，頂部的治具水平邊沿以及位于治具水平邊沿外邊緣處的治具豎向邊沿；所述治具底形成第一階臺階面，所述治具圓柱內(nèi)表面中間部位朝向外側(cè)凹陷形成有第二階臺階面，所述治具水平邊沿形成第三階臺階面；所述治具底上開設(shè)有用于安裝在旋轉(zhuǎn)臺上的沉頭孔；所述治具圓柱底端開設(shè)有漏水孔；所述治具水平邊沿外邊緣處開設(shè)有漏水槽；可以重復(fù)利用，可在氣動打磨工具的輔助下更好的提高生產(chǎn)效率，具有使用方便，精度高，可重復(fù)使用及節(jié)省人力及物料成本的特點。