一種半導(dǎo)體制造用氣體分散部件表面痕量元素污染的測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110901283.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113484403A 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113484403A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01N27/626（2021.01）I;G01N1/40（2006.01）I;G01N1/02（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 金奇梅;賀賢漢;李文閣;管方方;張正偉;蔣立峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申浩律師事務(wù)所 代理人 陸葉
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號(hào)10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。一種半導(dǎo)體制造用氣體分散部件表面痕量元素污染的測(cè)試方法，包括以下步驟：步驟一，采樣區(qū)內(nèi)放置一塊干凈的疏水性光滑平面，在其表面滴加適量的稀硝酸溶液，一定時(shí)間后回收溶液，并放置于一個(gè)潔凈的空瓶?jī)?nèi)，用ICP?MS測(cè)試溶液中元素含量；步驟二，采樣區(qū)內(nèi)放置一塊干凈的疏水性光滑平面，在其表面滴加適量的稀硝酸溶液，由于表面張力的作用會(huì)使得溶液聚成球形，接著取出待測(cè)的帶通孔零部件樣品輕輕放置于球形溶液上方，一定時(shí)間后將樣品輕輕拿出，并回收溶液將其置于一個(gè)潔凈的空瓶?jī)?nèi)，用ICP?MS測(cè)試溶液中元素含量；步驟三，取兩次測(cè)試結(jié)果的差值，通過公式計(jì)算最終得到待測(cè)工件的痕量元素污染含量。