半導體生產(chǎn)設備的噴淋部件的洗凈浸泡治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022862827.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214263143U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214263143U 申請公布日 2021-09-24
分類號 B08B13/00（2006.01）I;B08B3/04（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 王云鵬;賀賢漢;周毅;王成明 申請（專利權(quán)）人 上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 上海申浩律師事務所 代理人 趙建敏
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號10幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及機械技術(shù)領(lǐng)域。半導體生產(chǎn)設備的噴淋部件的洗凈浸泡治具，包括一支撐架，支撐架包括一支撐面板，支撐面板的上表面用于支撐待浸泡工件，支撐面板呈圓環(huán)形；支撐架還包括至少三個周向排布的支撐腳，支撐腳固定在支撐面板的外邊緣，支撐腳的頂部設有向上延伸的突起，突起高于支撐面板的上表面；支撐腳的底部開設有用于嵌入突起的插槽。本專利通過優(yōu)化洗凈浸泡治具，便于實現(xiàn)鋁部件的浸泡，相對于傳統(tǒng)的平鋪浸泡大大增加了單次的洗凈工件數(shù)。加快了生產(chǎn)效率。