一種光刻機及其操作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110121266.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112987503A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112987503A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G03F7/20 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 潘幼美;黃培龍;江前慶;樂曉紅 申請（專利權）人 泉州臺商投資區(qū)百亞網(wǎng)絡科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 362100 福建省泉州市臺商投資區(qū)洛陽鎮(zhèn)杏田村杏秀路海絲巾幗眾創(chuàng)20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機及其操作方法，其結(jié)構包括光刻機、滑動開關、雙工位旋轉(zhuǎn)裝置、激光器、顯微鏡、控制面板，雙工位旋轉(zhuǎn)裝置由殼體、旋轉(zhuǎn)工作臺、滑動換位機構、第一旋轉(zhuǎn)電機、電動推拉桿、第二旋轉(zhuǎn)電機組成，通過負壓吸附機構將載體吸附在第二載片盤上，進而利用第二旋轉(zhuǎn)電機帶動第二載片盤旋轉(zhuǎn)工作，避免了載體在刻畫過程中出現(xiàn)誤差，導致材料的浪費，通過滑動開關控制滑動換位機構往右移動后，在讓第一旋轉(zhuǎn)電機帶動第一載片盤上的載體旋轉(zhuǎn)工作，進而取出第二載片盤上的載體，加快了光刻機在工作時送入載體與取出載體，提高了工作效率，該結(jié)構設計合理，并且結(jié)構簡單，適于推廣使用。