一種光刻機(jī)及其操作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110121266.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112987503A 公開（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112987503A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 潘幼美;黃培龍;江前慶;樂曉紅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泉州臺(tái)商投資區(qū)百亞網(wǎng)絡(luò)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362100 福建省泉州市臺(tái)商投資區(qū)洛陽鎮(zhèn)杏田村杏秀路海絲巾幗眾創(chuàng)20號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)及其操作方法，其結(jié)構(gòu)包括光刻機(jī)、滑動(dòng)開關(guān)、雙工位旋轉(zhuǎn)裝置、激光器、顯微鏡、控制面板，雙工位旋轉(zhuǎn)裝置由殼體、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、滑動(dòng)換位機(jī)構(gòu)、第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)、電動(dòng)推拉桿、第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)組成，通過負(fù)壓吸附機(jī)構(gòu)將載體吸附在第二載片盤上，進(jìn)而利用第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)第二載片盤旋轉(zhuǎn)工作，避免了載體在刻畫過程中出現(xiàn)誤差，導(dǎo)致材料的浪費(fèi)，通過滑動(dòng)開關(guān)控制滑動(dòng)換位機(jī)構(gòu)往右移動(dòng)后，在讓第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)第一載片盤上的載體旋轉(zhuǎn)工作，進(jìn)而取出第二載片盤上的載體，加快了光刻機(jī)在工作時(shí)送入載體與取出載體，提高了工作效率，該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，并且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適于推廣使用。