一種太陽能電池制造工藝及鏈式鍍膜設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110158178.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113035997A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113035997A 申請公布日 2021-06-25
分類號 H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 上官泉元;閆路;劉寧杰 申請（專利權）人 江蘇杰太光電技術有限公司
代理機構 北京集智東方知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 吳倩
地址 225500 江蘇省泰州市姜堰區(qū)姜堰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)陳莊路600號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能電池制造工藝，包括如下步驟：S1.清洗、制絨；S2.硼擴散；S3.清洗去除BSG層并進行背面拋光；S4.背面沉積隧穿氧化層+摻雜非晶硅層；S5.正面制備氧化鋁+氮化硅疊層；S6.退火；S7.背面沉積氮化硅減反保護層；S8.絲網(wǎng)印刷、燒結測試、分選。本發(fā)明首先將正面沉積氧化鋁、氮化硅薄膜工序調整至退火工序之前，利用退火時的長時間高溫充分激發(fā)氧化鋁、氮化硅的鈍化能力，提升電池效率；其次利用氧化鋁、氮化硅薄膜預先把硅片正表面遮蓋起來，以避免在退火時正表面引入雜質而影響電池性能，同時還可省去退火后的清洗工序，將工藝流程從現(xiàn)有技術的9步簡化至8步，從而有效提高生產(chǎn)效率。