一種TOPCon太陽能電池原位摻雜鈍化層的制備方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020112298996 申請日 -
公開（公告）號 CN112271237A 公開（公告）日 2021-01-26
申請公布號 CN112271237A 申請公布日 2021-01-26
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 閆路;上官泉元 申請（專利權(quán)）人 江蘇杰太光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳倩
地址 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)姜堰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)陳莊路600號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種TOPCon太陽能電池原位摻雜鈍化層的制備方法，包括如下步驟：S1.首先將硅片輸送進入工藝腔內(nèi)；S2.硅片進入工藝腔后，先將工藝腔抽真空；S3.然后向抽真空后的工藝腔內(nèi)通入硅烷和紅磷蒸汽作為工藝氣體，并開啟快速加熱將工藝氣體和硅片同時快速加熱至反應(yīng)溫度后，開啟電源激發(fā)等離子體放電，硅烷和紅磷蒸汽在高溫低壓真空中反應(yīng)并在硅片表面生成含磷的硅薄膜，完成原位摻雜。本發(fā)明采用一步式原位摻雜的方式取代傳統(tǒng)的沉積和摻雜兩步式制備摻雜層的方法，并采用安全性更高的紅磷蒸汽替代磷烷作為磷摻雜劑，從根本上解決高效太陽能電池產(chǎn)能低、成本高的難題，并顯著提高了生產(chǎn)安全性。??