一種原子力顯微鏡探針

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920699591.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210690624U 公開(kāi)（公告）日 2020-06-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN210690624U 申請(qǐng)公布日 2020-06-05
分類號(hào) G01Q60/38(2010.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫磊;孫立梅;張守慶;燕虎;孫永澤;高原;古曉晨;劉健 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津易賽思科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津易賽思科技有限公司
地址 300000天津市濱海新區(qū)濱海-中關(guān)村科技園榮晟廣場(chǎng)4號(hào)樓702-18
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種原子力顯微鏡探針，其包括：主體部，所述主體部為平板狀；針尖部，所述針尖部設(shè)置于所述主體部的長(zhǎng)度方向上的一端部，所述針尖部為錐狀，所述針尖部具有連接于所述主體部的基端和沿所述主體部的厚度方向延伸并遠(yuǎn)離所述主體部的自由端，所述針尖部具有多個(gè)平面和至少一個(gè)弧面，所述基端的橫截面的形狀由多條直線和至少一條弧線包圍形成。通過(guò)采用上述技術(shù)方案本實(shí)用新型所述的一種原子力顯微鏡探針的壽命較長(zhǎng)、分辨率較高。??