靶材制備方法、裝置和靶材
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910584845.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112176294A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112176294A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-05 |
| 分類號(hào) | C23C14/34(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 王云能;徐國(guó)軍;張蛟;阮華清 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 領(lǐng)凡新能源科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京智晨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 領(lǐng)凡新能源科技（北京）有限公司 |
| 地址 | 101407北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)樂(lè)園大街38號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種靶材制備方法、裝置和靶材，涉及靶材制備領(lǐng)域，能夠制備出中間薄兩端厚的骨性靶材，從而解決靶材有效利用率低的問(wèn)題。所述靶材制備方法，包括：采用熱噴涂方式，在旋轉(zhuǎn)的背襯管上噴涂靶材層，所述噴槍在所述背襯管的端部區(qū)域的噴涂量大于所述噴槍在所述背襯管的中間區(qū)域的噴涂量；對(duì)形成的靶材層的進(jìn)行機(jī)械加工，使靶材各部分的靶材層厚度大體上與其在濺射時(shí)的消耗速度成正比。?? |
