一種MEMS流量傳感器芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811414115.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111220224A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN111220224A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01F1/684 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋陽陽;溫賽賽;馬碩;胡慧珊;王新亮 申請（專利權）人 蘇州原位芯片科技有限責任公司
代理機構 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李明
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路388號B506
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS流量傳感器芯片，所述MEMS流量傳感器芯片包括具有腔體的基底、設置在基底下方的腔體保護層、疊設于基底上方的電阻元件支承層、載置于電阻元件支承層的感溫元件和測流元件、覆蓋感溫元件和所測流元件的電阻元件保護層以及設置在所述電阻元件保護層上方的芯片保護層。其中，所述測流元件對應設置在所述腔體的正上方；所述感溫元件設置在所述基底上方的非腔體對應的位置。本發(fā)明的MEMS流量傳感器芯片應用廣泛，特別適用于小微流量的流體流速測量；具有電路結(jié)構簡單，測量精度高、成本低的特點；提升了測量靈敏度和測量范圍；并且使用壽命更長。