一種MEMS流量傳感器芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811414115.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111220224B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN111220224B 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01F1/684 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋陽陽;溫賽賽;馬碩;胡慧珊;王新亮 申請（專利權(quán)）人 蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路388號B506
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS流量傳感器芯片，所述MEMS流量傳感器芯片包括具有腔體的基底、設(shè)置在基底下方的腔體保護(hù)層、疊設(shè)于基底上方的電阻元件支承層、載置于電阻元件支承層的感溫元件和測流元件、覆蓋感溫元件和所測流元件的電阻元件保護(hù)層以及設(shè)置在所述電阻元件保護(hù)層上方的芯片保護(hù)層。其中，所述測流元件對應(yīng)設(shè)置在所述腔體的正上方；所述感溫元件設(shè)置在所述基底上方的非腔體對應(yīng)的位置。本發(fā)明的MEMS流量傳感器芯片應(yīng)用廣泛，特別適用于小微流量的流體流速測量；具有電路結(jié)構(gòu)簡單，測量精度高、成本低的特點；提升了測量靈敏度和測量范圍；并且使用壽命更長。