一種單向閥及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010057100.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111120728A 公開（公告）日 2020-05-08
申請公布號 CN111120728A 申請公布日 2020-05-08
分類號 F16K99/00 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 蔡金東;宋陽陽;王新亮;胡慧珊;馬碩 申請（專利權）人 蘇州原位芯片科技有限責任公司
代理機構 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 蘇州原位芯片科技有限責任公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路388號納米大學科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種單向閥及其制備方法，所述單向閥包括依次堆疊的第一基片層、中間層、第二基片層，其中：所述第一基片層，設置有第一開口；所述中間層，設置有單向閥體，所述單向閥體包括活塞柱結構以及被所述活塞柱結構間隔的流道，所述活塞柱結構通過活塞彈性膜片與所述中間層相連接；所述第二基片層，設置有第二開口，所述第二開口可與所述流道連通；所述活塞彈性膜片具有預應力變形。本發(fā)明的單向閥具有如下優(yōu)點：(1)可以主動防止流體回流，具有響應快，流控精度高等特點；(2)結構緊湊簡單、易加工、體積尺寸小，制造成本低，可大批量生產(chǎn)；(3)通過控制活塞柱下表面與閥體下表面高度差，來預設閥門開啟閾值，可滿足更多應用場景。