一種諧振式MEMS壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911112792.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110803675A 公開（公告）日 2020-02-18
申請公布號 CN110803675A 申請公布日 2020-02-18
分類號 B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L1/10;G01L9/00 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 王輝 申請（專利權(quán)）人 無錫萊斯能特科技有限公司
代理機構(gòu) 上海智威知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫萊斯能特科技有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道111號無錫軟件園天鵝座D棟2502室-003
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種諧振式MEMS壓力傳感器，包括：敏感膜；至少一根諧振梁，諧振梁的兩端分別通過第一錨點和第二錨點固定在敏感膜上；至少一個驅(qū)動器，用于驅(qū)動諧振梁；至少一個檢測器，用于檢測諧振梁的諧振頻率；轉(zhuǎn)向機構(gòu)，與諧振梁連接，還與驅(qū)動器和檢測器中的一個或兩個連接，使得驅(qū)動器和檢測器中的一個或兩個的運動方向正交于諧振梁的運動方向。通過轉(zhuǎn)向機構(gòu)，減少驅(qū)動器和/或檢測器由敏感膜面外運動產(chǎn)生的位移，從而減小驅(qū)動器和/或檢測器的靜態(tài)電容值的變化，達到提高諧振式MEMS壓力傳感器精確度，減少相位誤差和非線性問題。