一種三軸MEMS陀螺儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911112353.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110779510A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN110779510A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G01C19/5712 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王輝 申請（專利權）人 無錫萊斯能特科技有限公司
代理機構 上海智威知識產權代理有限公司 代理人 范潔瓊
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道111號無錫軟件園天鵝座D棟2502室-003
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種三軸MEMS陀螺儀，包括基底；第一質量塊，被配置為能夠被驅動以繞結構中心在X方向和Y方向組成的平面內旋轉；第一檢測裝置組，用于檢測繞X方向和繞Y方向的角速度；四邊形聯(lián)動結構，設置在第一質量塊內部；第二質量塊組，包括至少兩個第二質量塊，對稱設置；第二檢測裝置組，用于檢測繞Z方向的角速度；至少兩組驅動裝置組，每一組驅動裝置組包括對稱設置的兩個驅動方向相反的驅動裝置；驅動裝置，設置在四邊形聯(lián)動結構內部，被配置為驅動第二質量塊組沿X方向移動。本發(fā)明的三軸MEMS陀螺儀結構簡單、能有效減弱雙倍頻、非線性問題，輸出信號強。