一種三軸MEMS陀螺儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010029730.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111174772A 公開(kāi)（公告）日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN111174772A 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) G01C19/5712;G01C19/5733 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫萊斯能特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智威知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無(wú)錫萊斯能特科技有限公司
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道111號(hào)無(wú)錫軟件園天鵝座D棟2502室-003
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種三軸MEMS陀螺儀，包括基底；第一檢測(cè)部，用于檢測(cè)繞X方向的角速度；第二檢測(cè)部和第三檢測(cè)部，對(duì)稱設(shè)置在第一檢測(cè)部的兩側(cè)，分別和第一檢測(cè)部相連，并被設(shè)置為能夠提供方向相反的驅(qū)動(dòng)力，以及能用于檢測(cè)繞Y方向和繞Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；和懸掛裝置，通過(guò)錨點(diǎn)組懸浮設(shè)置在基底上，并設(shè)置在第一檢測(cè)部、第二檢測(cè)部和第三檢測(cè)部外側(cè)，和第二檢測(cè)部及第三檢測(cè)部相連；懸掛裝置被設(shè)置為能使得第二檢測(cè)部和第三檢測(cè)部發(fā)生沿Z方向的運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二檢測(cè)部和第三檢測(cè)部保持平行于或大致平行于基底。本發(fā)明的三軸MEMS陀螺儀的結(jié)構(gòu)緊湊、低成本，并能減弱或消除雙倍頻，其輸出信號(hào)強(qiáng)。