一種用于儲(chǔ)存電子級(jí)一氧化氮的鋼瓶及其加工方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111639926.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114321698A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114321698A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | F17C1/10（2006.01）I;F17C1/00（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I;C23C8/08（2006.01）I;C23C16/06（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C28/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 趙毅;裴凱;焦中鵬;施旖旎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 大連科利德光電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 趙佳 |
| 地址 | 116200遼寧省大連市普灣新區(qū)松木島化工園區(qū)緯一街7號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及特種氣體儲(chǔ)存領(lǐng)域，尤其涉及一種用于儲(chǔ)存電子級(jí)一氧化氮的鋼瓶，其包括鋼瓶本體，所述鋼瓶本體的內(nèi)壁處設(shè)置有一層鈍化層，所述鈍化層的表面呈點(diǎn)狀分布有滲硼區(qū)，所述鈍化層的表面還設(shè)置有一層鋁膜，在鋁膜的外部沉積有一層二氧化硅薄膜。本發(fā)明通過(guò)在鋼瓶的內(nèi)比表面依次沉積多層結(jié)構(gòu)，能夠使得鋼瓶?jī)?nèi)壁的粗糙度大幅下降，使得雜質(zhì)不會(huì)附著在鋼瓶?jī)?nèi)壁上，從而污染儲(chǔ)存在鋼瓶?jī)?nèi)的電子級(jí)氣體，本發(fā)明鋼瓶?jī)?nèi)壁具有化學(xué)惰性，能夠長(zhǎng)時(shí)間存放電子級(jí)氣體，保證電子及氣體的純度與品質(zhì)。此外，鋼瓶?jī)?nèi)壁的鋁膜以及二氧化硅薄膜與基體之間的結(jié)合強(qiáng)度較高，能夠防止在使用過(guò)程中與基體剝離，降低鋼瓶使用壽命。 |
