3D形貌測量誤差的在線補償測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920238210.2 申請日 -
公開（公告）號 CN209230556U 公開（公告）日 2019-08-09
申請公布號 CN209230556U 申請公布日 2019-08-09
分類號 G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋金龍;黃英俊;馬軍 申請（專利權）人 法博思（寧波）半導體設備有限公司
代理機構 北京知呱呱知識產權代理有限公司 代理人 上海謙視智能科技有限公司
地址 201100 上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路115號1幢4層402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種3D形貌測量誤差的在線補償測量裝置，屬于產品測量設備領域，其技術方案要點包括基準墊片、固定夾具、產品測量傳感器和補差測量傳感器，所述基準墊片水平設置在3D形貌測量儀的滑臺上，所述固定夾具固定在基準墊片上方，所述固定夾具上側放置待測產品，所述產品測量傳感器設置于固定夾具上方，所述補差測量傳感器設置于3D形貌測量儀的滑臺下方，達到了消除由于滑臺平整度不高造成的測量誤差，降低滑臺生產成本的效果。