透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910026139.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101519593A 公開（公告）日 2009-09-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN101519593A 申請(qǐng)公布日 2009-09-02
分類號(hào) C09K13/00(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 趙佳;黃巍;顧奇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州瑞晶化學(xué)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 蘇州瑞晶化學(xué)有限公司;蘇州蘇電微電子信息化學(xué)品研發(fā)中心有限公司;蘇州瑞紅電子化學(xué)品有限公司
地址 215128江蘇省蘇州市吳中區(qū)吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種透明導(dǎo)電薄膜用濕法蝕刻液及其制造方法，其配方：草酸(乙二酸)0.1％～11％，表面活性劑0.001wt％～10wt％，去離子水79～99.899wt％；制備時(shí)：先將去離子水加入分散鍋中，攪拌下加入草酸、表面活性劑，攪拌10～60分鐘，使其完全溶解均勻，過濾，出料。該蝕刻劑能在溫和的條件下對(duì)無定形ITO層進(jìn)行蝕刻，且蝕刻后不會(huì)有殘?jiān)?，線條平整，精度高，其工藝操作十分方便、易于控制，廣泛用于透明導(dǎo)電薄膜的蝕刻。