一種測試裝置、測試模組及控制方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110107453.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112433140A | 公開（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112433140A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-02 |
| 分類號(hào) | G01R1/04(2006.01)I;G05B19/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;G01R1/02(2006.01)I;G01L19/12(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 蔣鍇;李春勇;舒凱;仇伯倉;柯毛龍;徐化勇;馮歐 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江西銘德半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 彭琰 |
| 地址 | 330000 江西省南昌市南昌小藍(lán)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)富山大道以南、金湖以西 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種測試裝置、測試模組及控制方法，涉及檢測技術(shù)領(lǐng)域，該測試裝置包括電源探針與檢測探針，還包括：外殼，外殼呈空心結(jié)構(gòu)以構(gòu)成壓力腔，壓力腔內(nèi)注入有介質(zhì)，電源探針與檢測探針的至少部分處于壓力腔內(nèi)并與介質(zhì)接觸；活塞，設(shè)于壓力腔中并與外殼的內(nèi)壁滑動(dòng)接觸；驅(qū)動(dòng)器，用于驅(qū)動(dòng)活塞沿壓力腔的軸向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以驅(qū)動(dòng)介質(zhì)并促使電源探針與檢測探針往復(fù)運(yùn)動(dòng)；控制器，與驅(qū)動(dòng)器電性連接以控制驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)行程；壓力傳感器，設(shè)于外殼上且至少部分伸入壓力腔內(nèi)，壓力傳感器與控制器電性連接以反饋壓力腔內(nèi)的壓力值。本發(fā)明能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中多個(gè)探針無法保持始終一致的壓力的技術(shù)問題。?? |
