一種可控橫向光場(chǎng)的多結(jié)型半導(dǎo)體激光器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011600172.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112531461A 公開(公告)日 2021-03-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112531461A 申請(qǐng)公布日 2021-03-19
分類號(hào) H01S5/32(2006.01)I;H01S5/323(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔣鍇;李春勇;舒凱;仇伯倉;柯毛龍;徐化勇;馮歐 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江西銘德半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 彭琰
地址 330000 江西省南昌市南昌小藍(lán)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)富山大道以南、金湖以西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可控橫向光場(chǎng)的多結(jié)型半導(dǎo)體激光器及其制造方法,涉及半導(dǎo)體激光器技術(shù)領(lǐng)域,可控橫向光場(chǎng)的多結(jié)型半導(dǎo)體激光器包括:襯底;多個(gè)含有PN限制層、波導(dǎo)層、量子阱區(qū)、電流限制層的結(jié)型結(jié)構(gòu),且多個(gè)結(jié)型結(jié)構(gòu)之間均通過一隧道結(jié)進(jìn)行連接;其中,隧道結(jié)為高摻反偏的PN結(jié),隧道結(jié)包括P型隧穿層和N型隧穿層。通過本發(fā)明所示的可控橫向光場(chǎng)的多結(jié)型半導(dǎo)體激光器,可選擇性插入一種電流限制結(jié)構(gòu),形成一種在各結(jié)位置處的電流約束通道,從而改善多結(jié)型半導(dǎo)體激光器的電流擴(kuò)展問題,進(jìn)一步改善多結(jié)型半導(dǎo)體激光器的橫向光場(chǎng)分布,使得各結(jié)有源區(qū)發(fā)光的橫向?qū)挾葘?duì)稱或一致,提高其近場(chǎng)遠(yuǎn)場(chǎng)光強(qiáng)均勻性。??