邊發(fā)射大功率激光器及其制造方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | 2020115873881 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112290384A | 公開（公告）日 | 2021-01-29 |
| 申請公布號 | CN112290384A | 申請公布日 | 2021-01-29 |
| 分類號 | H01S5/343(2006.01)I;H01S5/34(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 柯毛龍;李春勇;舒凱;仇伯倉;徐化勇;馮歐 | 申請（專利權(quán)）人 | 江西銘德半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 彭琰 |
| 地址 | 330000江西省南昌市南昌縣富山大道以南、金湖以西德瑞光電大樓二樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種邊發(fā)射大功率激光器及其制造方法，該邊發(fā)射大功率激光器，包括：依次層疊設(shè)置的N型襯底、N型緩沖層、N型覆蓋層、下波導(dǎo)層、有源層、上波導(dǎo)層、P型覆蓋層和P型歐姆接觸層，所述下波導(dǎo)層和所述有源層為無摻雜；所述有源層整體呈現(xiàn)張應(yīng)力，且所述張應(yīng)力的值在閾值范圍內(nèi)；所述P型覆蓋層和所述P型歐姆接觸層通過蝕刻形成脊形的脊波導(dǎo)。本發(fā)明中的邊發(fā)射大功率激光器采用張應(yīng)力的有源層，從而端面會自然形成一個無吸收的窗口，可以較好地降低端面吸收而造成的發(fā)熱，從而提高激光器端面損壞的閾值，提高激光器的輸出功率和可靠性。?? |
