用于晶圓清洗烘干的充氣式主軸密封裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020527700.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212899733U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212899733U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | F16J15/46(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 田英干 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江嘉善農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司科技支行 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王大國(guó) |
| 地址 | 314199浙江省嘉興市嘉善縣羅星街道歸谷園區(qū)創(chuàng)業(yè)中心A座433室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了用于晶圓清洗烘干的充氣式主軸密封裝置，屬于密封技術(shù)領(lǐng)域，包括蓋板，所述蓋板的底端鑲嵌連接有底板，所述底板的下方插接有氣墊，所述氣墊的兩側(cè)固定安裝有側(cè)腔，所述側(cè)腔的內(nèi)部固定安裝有彈簧A，所述彈簧A的一端間隙連接在磁鐵A的一端，所述氣墊的底端插接在乳膠墊的內(nèi)部，所述蓋板的內(nèi)部固定安裝有支承座，所述支承座包括底座A底座B，所述底座A的一端過盈連接有支座A，所述支座A的下方鑲嵌連接有彈簧B，所述彈簧B的下方固定安裝有支座B，所述支座B的下方固定安裝有底座B。本實(shí)用新型通過安裝的支承座，能夠有效減少蓋板受到的來自外界環(huán)境的沖擊壓力，防止蓋板受到損壞，從而提高使用效果。?? |
