一種多樣化有源像素生物傳感探測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510527830.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105206634B 公開（公告）日 2018-10-16
申請公布號 CN105206634B 申請公布日 2018-10-16
分類號 H01L27/146;H04N5/374 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬漢彬;李嘉浩;蘇陽;阿洛基亞那桑 申請（專利權(quán)）人 南京劍橋新港科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳建和
地址 210038 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)興科路12號紫金新港(南西)科創(chuàng)基地101-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多樣化有源像素生物傳感探測系統(tǒng)，包括基于大面積電子電路制造工藝的一次性生物傳感像素電路即TFT生物傳感像素電路和重復(fù)利用的基于CMOS信號處理芯片結(jié)合在一道；生物傳感像素電路部分與信號處理芯片實現(xiàn)分離；TFT生物傳感像素電路基于大面積電子電路制造技術(shù)，采用各種真空鍍膜工藝：熱蒸發(fā)鍍膜、磁控濺射鍍膜、氣相沉積鍍膜、分子層沉積鍍膜；各種基于溶液法的半導(dǎo)體器件系統(tǒng)制備工藝進(jìn)行制備：旋涂、滴途、噴墨打印、平板打印。一種多樣化有源像素生物傳感探測系統(tǒng)，其包括基于TFT生物傳感像素電路和可重復(fù)利用的CMOS處理芯片。同時實現(xiàn)對生物樣本的光學(xué)和電學(xué)的大規(guī)模檢測。