一種帶有氧氣循環(huán)使用系統(tǒng)的ITO靶材燒結(jié)爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810377628.1 申請日 -
公開（公告）號 CN108548423A 公開（公告）日 2018-09-18
申請公布號 CN108548423A 申請公布日 2018-09-18
分類號 F27D7/04;F27D17/00;F27D19/00 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 王雪濤;王新會;馬春元;宋蕊立 申請（專利權(quán)）人 河北惟新科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 050000 河北省石家莊市高新區(qū)方億科技園A區(qū)3號樓5層01-02廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種帶有氧氣循環(huán)使用系統(tǒng)的ITO靶材燒結(jié)爐，所述氧氣循環(huán)使用系統(tǒng)包括通過主管道首尾依次連通的用于對燒結(jié)爐排出的氣體進(jìn)行分析的氣體分析單元、用于對排氣進(jìn)行壓縮緩沖的加壓單元、凈化排氣的凈化單元以及向燒結(jié)爐內(nèi)輸送氧氣的充氣單元，所述氣體分析單元的進(jìn)氣口與ITO靶材燒結(jié)爐排氣口連通，充氣單元的出氣口與燒結(jié)爐進(jìn)氣口連通；所述氧氣循環(huán)使用系統(tǒng)還包括分別與氣體分析單元、加壓單元、凈化單元以及充氣單元連接的控制器。能夠?qū)t體內(nèi)排出的氧氣經(jīng)過處理后重新輸入爐體內(nèi)部進(jìn)行循環(huán)利用，氧氣回收使用率為90%以上，降低了生產(chǎn)成本，消除了由于氧氣排放而引發(fā)的安全隱患。