一種提高ITO靶材坯體強(qiáng)度的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910125113.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111593304A 公開（公告）日 2020-08-28
申請公布號 CN111593304A 申請公布日 2020-08-28
分類號 C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王雪濤;宋蕊立;李玉新 申請（專利權(quán)）人 河北惟新科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 050000河北省石家莊市高新區(qū)長江大道238號宏昌科技園7號樓一層102、106、107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種提高ITO靶材坯體強(qiáng)度的方法，其特征在于，在向石膏模中澆注ITO漿料前，首先配置保護(hù)液，然后將保護(hù)液涂覆于石膏模型腔表面，然后再澆注ITO漿料，在ITO漿料澆注完成后，在石膏模中裸露的ITO漿料表面噴灑保護(hù)液，成型后脫模即可得到表面裹附有固化保護(hù)膜的ITO漿料坯體。本發(fā)明的應(yīng)用，可在ITO靶材坯體表面形成固化保護(hù)膜，從而對ITO靶材坯體起固定作用，大大提高了坯體的強(qiáng)度，避免了ITO靶材坯體生產(chǎn)過程中出現(xiàn)開裂等問題的出現(xiàn)，提高了轉(zhuǎn)移成品率。??