一種陣列式多光譜濾光片及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310180095.5 申請日 -
公開（公告）號 CN103245996B 公開（公告）日 2015-11-25
申請公布號 CN103245996B 申請公布日 2015-11-25
分類號 G02B5/20(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 吳一輝;周文超;郝鵬;李凱偉;劉桂根;劉永順 申請（專利權(quán)）人 廣東長光中科生物科技有限公司
代理機構(gòu) 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 代理人 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
地址 528251 廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道夏南路12號天富科技中心4號樓3層303室、304-2室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種陣列式多光譜濾光片及其制作方法，屬于微納米濾光片領(lǐng)域。解決現(xiàn)有微流控芯片中多通道陣列化檢測的集成化問題。該濾光片只包括二維金屬光柵層、緩沖層、波導(dǎo)層和基底四層結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供了濾光片的制作方法，是利用二維金屬光柵的導(dǎo)模共振原理，通過調(diào)節(jié)光柵周期實現(xiàn)不同波長的選擇。通過緩沖層的厚度還可以調(diào)節(jié)透過波長的半波帶寬。通過調(diào)節(jié)二維金屬光柵層的合適的占空比，可以減少旁瓣。因此，本發(fā)明的方法制作的陣列式多光譜濾光片相對于其他可調(diào)諧濾光片來說，具有結(jié)構(gòu)簡單、旁瓣低、半波帶寬可調(diào)、透過率高、與偏振無關(guān)等突出優(yōu)點。應(yīng)用本發(fā)明的濾光片，能夠?qū)崿F(xiàn)微流控芯片的集成化。